光氧廢氣處理設備氣體分子被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。放電過程中雖然電子溫度很高，但重粒子溫度很低，整個體系呈現低溫狀態，所以稱為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降解污染物的目的。 光氧廢氣處理設備 特點：① 采用單級或多級串聯洗滌，對污染物去除徹底，去除效率高。② 處理高濃度惡臭廢氣具有明顯優勢，運行穩定。③ 具有啟動速度快、可間歇運行、耐沖擊負荷強、受溫度影響小、運行穩定等特點。④ 自動化程度高，占地面積小,化學洗滌除臭設備適用于污水處理廠、制藥廠、化工廠等具有堿性或酸性且濃度比較高的尾氣治理。活性炭除臭設備采取切線出風、環狀過濾、中間進風、上不加料、下部卸料的結構，克服了傳統的活性炭過濾器過濾阻力大、面積小、占地面積大、設備投資高、更換活性炭困難等缺陷，使活性炭過濾設備結構設計近乎于完美。

一般工業廢氣處理包括了有機廢氣處理、粉塵廢氣處理、酸堿廢氣處理、異味廢氣處理和空氣殺菌消毒凈化等方面,工業廢氣處理要區別民用場所空氣凈化,要能有效去除工廠車間產生的苯、甲苯、二甲苯，醋酸乙酯，丙酮丁酮，乙醇，丙烯酸，甲醛等有機廢氣，硫化氫，二氧化硫，氨等酸堿廢氣處理環保。 廢氣處理的原理有活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物洗滌、生物滴濾法、等離子法等多種原理。廢氣處理塔采用五重廢氣吸附過濾凈化系統，工業廢氣處理設計周密、層層凈化過濾廢氣，效果較好。工業廢氣的種類頗多，因此針對相應的工業廢氣，采用科創技術，進行技術的的組合與拆分，能夠更好更的對污染物進行去除。例如低溫等離子技術與UV光解凈化的組合、轉輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術的組合。以低溫等離子技術與UV光解凈化的組合為例，這兩種方法的協同運作，使其工作區域相互融合，增強了電子的二次激發，形成場強加強區，放大了各自的降解效率，使污染物降解完全。 催化燃燒氧化法可以說是催化燃燒處理方法和催化氧化處理方法的綜合，這種廢氣處理方法主要特點在于，在實際的處理過程中，對預熱的溫度要求不高，有機廢氣在進行精華的過程中處于無焰燃燒的狀態，從而能夠有效地廢氣治理的性，降低廢氣治理的成本。