OC廢氣處理設備從理論上講，只要半導體吸收的光能不小于其帶隙能，就足以激發產生電子和空穴，該半導體就有可能用作光催化劑,常見的單一化合物光催化劑多為金屬氧化物或硫化物，如 Ti0。、Zn0、ZnS、CdS及PbS等。這些催化劑各自對特定反應有突出優點，具體研究中可根據需要選用，如CdS半導體帶隙能較小，跟太陽光譜中的近紫外光段有較好的匹配性能，可以很好地利用自然光能，但它容易發生光腐蝕，使用壽命有限。相對而言，Ti02的綜合性能較好，是廣泛使用和研究的單一化合物光催化劑。

作為大氣污染的重要來源，工業廢氣的高校治理尤為重要。由于生產的工藝不同，工業廢氣產生的污染物種類也不同，不同污染物種類應采用不同的處理工藝。目前，市場上常見的工業廢氣治理技術主要有：干法脫硫、濕法脫硫、物理/化學吸收法、煙氣脫硝、稀釋法、堿液中和法等等, 由于使用不同的吸收劑可獲得不同的副產物而加以利用，因此濕法脫硫是各國研究多的方法。由于工業廢氣的成分越來越復雜，單一的廢氣處理技術方法很難達到理想的處理效果。業內人士認為，綜合兩種或兩種以上處理技術，以及占地空間小、處理效率高的設備將受到市場關注。 資料顯示，治理惡臭廢氣的核心技術是靜電等離子廢氣治理技術，輔助技術是酸堿洗滌技術和生物膜過濾技術。靜電等離子技術是靜電技術與等離子技術的完美結合的復合技術，將靜電技術的吸附和凝聚特性與等離子技術的荷電和裂解特性有機組合，形成了靜電等離子技術的四大技術優勢：荷電、裂解、吸附和凝聚，而廢氣的凈化就是這四種特性共同作用完成的。