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“冷加工”具有很高負荷能量的（紫外）光子，能夠打斷材料（特別是有機材料）或周圍介質內的化學鍵，至使材料發生非熱過程破壞。這種冷加工在激光標記加工中具有特殊的意義，因為它不是熱燒蝕，而是不產生"熱損傷"副作用的、打斷化學鍵的冷剝離，因而對被加工表面的里層和附近區域不產生加熱或熱變形等作用。例如，電子工業中使用準分子激光器在基底材料上沉積化學物質薄膜，在半導體基片上開出狹窄的槽。
半導體二極管的壽命長，其額定的工作時間大于10000小時，而氪燈的壽命只有幾百小時（一般在400-600小時左右），所以燈泵浦激光器在工作一段時間后，都需要更換氪燈，尤其是對于金屬類打標，所需的能量較大，氪燈的壽命會更受影響。因此數控機床半導體泵浦激光器又稱為免維護激光器，意指其工作無耗材，在相當長的時間內不需要維護。
紫外激光打標機屬于激光打標機的系列產品，但其采用355nm的紫外激光器研發而成，該機采用三階腔內倍頻技術同紅外激光比較，355紫外光聚焦光斑極小，能在很大程度上降低材料的機械變形且加工熱影響小，因為主要用于超精細打標、雕刻，特別適合用于食品、醫藥包裝材料打標、打孔、玻璃材料的高速劃分及對硅片晶圓進行復雜的圖形切割等應用領域。
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